高纯电子气体项目（一期）共计新征用地435亩，本期占地264亩，总投资13.6亿元。主要建设三氟化氮电解车间、纯化装置、充装车间等生产车间以及配套的变电站、动力车间、指挥控制中心等建筑物，共建设31个建构筑物单体，总建筑面积4.6万平方米。
项目将在2024年底基本完工，2025年上半年竣工投产，建成后，可实现高纯度三氟化氮7500吨/年、超纯氨10000吨/年，以及75000吨的液氮的配套生产能力。达产后，预计实现产值超10亿元。
该项目的建设将持续推进我国集成电路产业电子气体的产业化，服务于我国半导体产业。
