盈德子公司准分子激光气获关键认证

    11月，盈德气体子公司——上海基量标准气体有限公司生产的用于ExciStar 激光器的193nm激光混配气一次性通过美国Coherent(相干)公司的测试，成功获得准分子激光气合格供应商认证。这是盈德气体电子特气发展的关键一步，将进一步满足我国芯片半导体、医疗等多个激光器领域的应用需求。

    上海基量依托深厚的气体技术积累与丰富的电子特气领域实践经验，首次送检即成功通过了Coherent适配性测试，并取得合格供应商认证，将为医疗、光刻、OLED显示等行业企业提供优质激光混配气，为高端制造业的高品质发展提供强有力的推动力。