此次获得“中国半导体创新产品和技术奖”,是业界对华特气体高纯六氟乙烷的创新性和先进性的肯定。华特气体将以此为契机,再接再厉,加大产品研发力度,积极开展新产品的研发与生产工作,为我国集成电路产业的发展贡献力量。
2月18日,“第十届(2015年度)中国半导体创新产品和技术”项目评选活动结果在中国半导体行业协会官方网站揭晓。华特气体具有自主知识产权的“高纯六氟乙烷(99.999%)”获此殊荣。华特气体研制的“高纯六氟乙烷(99.999%)”,产品纯度高、质量稳定性好、能替代进口产品,满足国内线宽小于0.25微米的集成电路使用要求。