含氟特种化学品气体广泛用于半导体、液晶面板及太阳能电池制造等领域的清洁生产，其需求仍在不断增长。
日本关东电化公司近日表示，将扩大三氟化氮特种气体产能，计划在2012年2月前将位于日本关东平原西北部群马县涩川工厂的三氟化氮年产能由目前的3000吨提高至3500吨。此外，关东电化还将提高该工厂四氟化碳的产能，计划在2012年6月前将产能提高10%，达到1100吨/年。
发布日期：2011-11-07 浏览次数：944
含氟特种化学品气体广泛用于半导体、液晶面板及太阳能电池制造等领域的清洁生产，其需求仍在不断增长。
