硅通用压力传感器生产线通过验收

    我国惟一从芯片到整机用微机加工的硅通用压力传感器生产线，日前在沈阳仪器仪表工艺研究所通过了国家验收。该生产线为国产仪表全面更新换代打下了坚实基础。
    硅通用压力传感器广泛用于石化、电力、管网运输、环保、水利等领域，目前我国生产该产品的生产线大多从国外引进。1996年，沈阳仪器仪表工艺研究所开始从事这项技术及产业化的研究与开发，该项目被列为国家“九五”攻关重大项目。经过两年的研制，技术人员攻克了种种技术难关，掌握了利用微电子工艺与微机加工工艺相融合，批量生产硅通用压力传感器的先进制造技术，并进行了中试生产。
    目前，该所已接到美国一家公司要求为其生产100万只传感器芯片的订单。