5月18日,液化空气电子材料(张家港)有限公司四期扩建360吨/年电子材料纯化充装及混配项目环评价二次公示。
据了解,液化空气电子材料(张家港)有限公司现有一期项目(340t/a电子用特种气体新建项目,其中充装硅烷80t/a、精制氯气100t/a、精制笑气160t/a);二期项目(电子特种气体扩建项目,年产笑气1200t,分装硅烷400t,混配磷化氢/氢混配气37600Nm³、乙硼烷/氢混配气18480Nm³、三甲基硼/氢混配气3360Nm³、锗烷/氢混配气3600Nm³);三期项目(扩建年产60000Nm³氖气提纯及混配气充装项目,新增混配氦/氮混配气17640Nm³,氢/氖混配气13500Nm³,氢/氮混配气24192Nm³,氢/氩混配气1128Nm³,氧/氦混配气9240Nm³,氮/氦混配气1512Nm³,氢/氦混配气2520Nm³,氧/氩混配气2700Nm³)。目前,三期工程正在办理环保竣工验收手续。
基于较好的市场前景,液化空气电子材料(张家港)有限公司拟投资6817万元建设四期扩建——360吨/年电子材料纯化充装及混配项目,项目混配磷烷/氢气混配气0~10%PH3/H220240Nm³/a、乙硼烷/氩气混配气0~20%B2H6/Ar1320Nm³/a、乙硼烷/氮气混配气0~20%B2H6/N22220Nm³/a、磷烷/硅烷混配气0~10%PH3/SiH40.72t/a、氙气/氖气混配气0~20%Xe/Ne5040Nm³/a,纯化与分装一氟甲烷5t/a、二氟甲烷5t/a、三氟甲烷50t/a、四氟化碳50t/a、六氟代一三丁二烯50t/a、八氟环丁烷 50t/a、六氟化硫50t/a、氦气 8400Nm³/a、氮气8400Nm³/a,分装氙气120Nm³/a、二氯氢硅60t/a、四氯化硅10t/a。