林德集团正在投资扩大现有产品,以改进业务连续性计划(BCP),同时增加纯度更高的新产品,以满足亚10nm半导体工厂和先进平板制造商不断增长的需求。
林德集团是稀有气体和激光混合物生产技术的全球领导者。
林德扩大了在美国俄勒冈州梅德福的氟/氮(N2)混合物的生产能力,用于蚀刻和室内清洁的应用。
* 可同时生产低、高压氟/氮混合物
* 现场高纯度氟生产可最大限度地减少第三方供应问题
* 该产品线正在扩大包括氟/氩混合物,并在2018年晚些时候具备三种(氟/氩/氮)混合物的能力
* 该设施补充了新泽西州林德阿尔法工厂的氟混合物生产。
CVD、ALD和ALE前体中不断出现创新的新元素,例如大批量供应能力,提供先进前体质量的工艺解决方案以及支持新材料开发的应用实验室。林德正在开发沉积前体和蚀刻气体:硅前驱体、气体混合物、高k和金属前驱体、同位素气体和蚀刻气体,如CF3I(三氟碘甲烷)和定制氟化硅烷。
“林德认识到,我们的客户继续在新工艺和新技术上进行投资,我们致力于与他们一起投资,以获得他们现在和未来所需的材料,”林德电子和高端产品销售和营销主管Matt Adams表示。