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巴斯夫新建电子级硫酸装置在嘉兴投产
来源:气体分离bingqi2018-06-01 09:44
 


  5月30日,巴斯夫在位于浙江嘉兴新建的电子级硫酸(H2SO4)装置正式投入运营,将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。该装置尚未竣工即同时启动扩建项目,扩容后产能将翻番。扩建项目预计将于今年年底投产。

  据了解,该套新装置位于浙江省嘉兴市海滨城镇乍浦,配备了最先进的技术,将生产最高品质的硫酸。因为在制造小于10纳米单位数节点晶片的过程中需要经过数百道清洗工序,巴斯夫嘉兴工厂生产的电子级硫酸主要满足10mm~7nm制程,将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。

  作为全球领先的电子材料供应商,巴斯夫为电子行业提供多种解决方案,包括经过高纯度先进方法加工的特种化学品组合以及面向电子行业的应用和定制化解决方案。嘉兴装置依托巴斯夫全球研发网络与专业生产技术,成功搭建出生产工艺的复杂架构,并实施质量管理专有体系。

  巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿博士表示:“嘉兴的新电子级硫酸装置是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。中国已成为全球最大电子材料市场之一,而且还在不断成长,我们很高兴能够参与这一增长势头。我们将更贴近客户,为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案、更可靠的供应和更稳定的品质。”

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