5月7日消息，西安新圆益半导体材料有限公司新建特种气体储存厂区项目近日获环评批复。项目计划于今年7月施工，12 月投产。
电子气作为极大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料之一，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，没有这些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太阳能就无法制造，引进的设备正常产能无法释放，因此电子气体的发展对我国半导体产业的发展起着至关重要的作用。
据了解，该项目位于高新区综合保税区内建设，总投资8750万元人民币，主要建设联合站、分装和提纯车间、气体储存仓库等设施。项目原料主要来自韩国和中国，包含三个危险化学品储存仓库，分别为NH3仓库、CO2/C4F8仓库、N2O/CH2F2/C3H6仓库。
