电子特种气体被称作是电子工业的“血液”。中船重工718所副所长郭建增说,718所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商,为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。
据悉,电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称,是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。718所在国家重大专项的支持下,经过多年军民融合、持续技术创新,相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品,生产规模均位居国内第一;其他7种气体及10种混合气体已研制成功并具备批产条件。
该所将加快三氟化氮、六氟化钨等主要气体产能建设,加大国际国内两个市场开拓力度,加快拓展半导体行业大宗气体现场制气业务,力争在2020年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第一。